鐳射干涉儀測量五軸機床平移軸直線度誤差的應用原理

　　鐳射干涉儀具有測量精度高✘│✘☁、測量範圍大✘│✘☁、測量速度快✘│✘☁、最高測速下解析度高等優點↟✘↟，結合不同的光學鏡組↟✘↟，可實現線性測長✘│✘☁、角度✘│✘☁、直線度✘│✘☁、垂直度✘│✘☁、平行度✘│✘☁、平面度等幾何參量的高精度測量│▩•↟。在SJ6000鐳射干涉儀動態測量軟體配合下↟✘↟，可實現線性位移✘│✘☁、角度和直線度的動態測量與效能檢測↟✘↟，以及進行位移✘│✘☁、速度✘│✘☁、加速度✘│✘☁、振幅與頻率的動態分析↟✘↟，如振動分析✘│✘☁、絲桿導軌的動態特性分析✘│✘☁、驅動系統的響應特性分析等│▩•↟。

　　鐳射干涉儀最典型的應用就是測量機床精度↟✘↟，本文講解如何使用鐳射干涉儀測量五軸機床平移軸直線度誤差│▩•↟。

　　對於平移軸而言↟✘↟，每根軸均有兩個直線度誤差↟✘↟，因此三根軸有六個直線度誤差↟✘↟，均可採用鐳射干涉儀分別測得│▩•↟。

　　原理·◕·✘：帶有圓孔的是直線度干涉鏡↟✘↟，其與待測軸相連一同運動;長條鏡是直線度反射鏡靜止安裝↟✘↟，其是對稱結構↟✘↟，上下左右均對稱│▩•↟。當一束鐳射從源頭髮出射入干涉鏡↟✘↟，干涉鏡將光束分成兩束↟✘↟，形成一個很小的角度分別去往反射鏡↟✘↟，由於反射鏡上下對稱↟✘↟，因此兩束光被反射後又回到干涉鏡↟✘↟，匯合成一股光束↟✘↟，去往鐳射頭的探測器│▩•↟。當運動軸產生直線度誤差時↟✘↟，會使得干涉鏡相對於反射鏡在水平橫向方向發生相對運動↟✘↟，而反射鏡是左右對稱的(左右的鏡片不在同一平面↟✘↟，有一定的角度)↟✘↟，因此會使得兩束分開的光束光程具有差別↟✘↟，根據此差別↟✘↟，即可測得運動軸產生的直線度誤差│▩•↟。